ES0S3是針對科研和工業(yè)環(huán)境中薄膜測量領域推出的波長掃描式高精度多入射角光譜橢偏儀,此系列儀器的波長范圍覆蓋紫外、可見、近紅外、到遠紅外。
ESS03采用寬光譜光源結合掃描單色儀的方式實現高光譜分辨的橢偏測量。
ESS03系列多入射角光譜橢偏儀用于測量單層和多層納米薄膜的層構參數(如,膜層厚度、表面微粗糙度等)和光學參數(如,折射率n、消光系數k、復介電常數ε等),也可用于測量塊狀材料的光學參數。
ESS03系列多入射角光譜橢偏儀尤其適合科研中的新品研發(fā)。
技術特點: