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在線橢偏儀 In-situ series
價(jià) 格:詢價(jià)
產(chǎn) 地:更新時(shí)間:2021-01-18 16:44
狀 態(tài):正常點(diǎn)擊量:2960
上海非利加實(shí)業(yè)有限公司
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儀器介紹:
在鍍膜或刻蝕的過程中,實(shí)時(shí)監(jiān)測樣品膜的膜厚以及光學(xué)常數(shù)(n,k)變化。
技術(shù)參數(shù):
·可實(shí)現(xiàn)快速、實(shí)時(shí)在線監(jiān)測樣品膜層變化
主要特點(diǎn):
將激發(fā)和探測頭引入生產(chǎn)設(shè)備,可實(shí)現(xiàn):
· 動態(tài)模式:實(shí)時(shí)監(jiān)測膜厚變化
· 光譜模式:監(jiān)測薄膜的界面和組分